所属领域：高端新材料

　　主要技术、难题1：高硬度碳化硅陶瓷加工刀具的研究；大尺寸、复杂结构、薄壁碳化硅部件的装卡方法研究；大尺寸、复杂结构、薄壁碳化硅部件的加工方法研究。碳化硅陶瓷部件技术指标：气浮导轨：长度：≥1m；平行度：≤1m；平面度：≤1 m。陶瓷吸盘：直径：≥300mm；平行度：≤1 m；平面度：≤1 m。主要技术、难题2：大尺寸、复杂中空异形结构碳化硅陶瓷坯体的精密成型技术研究；大尺寸、复杂结构、高精度精密陶瓷件的微形变、均匀烧结工艺研究；大尺寸、复杂结构、高精度精密陶瓷件的精密加工技术研究；碳化硅陶瓷部件的高精度、高强度粘接工艺研究。材料性能技术指标：密度：≥3.0 g/cm3；弹性模≥350 GPa；抗弯强度：≥300 MPa；热膨胀系数：≤3.0×10-6/℃（100℃）；热导率：≥160 W/m·k。气浮导轨：长度：≥1m；陶瓷吸盘：直径：≥300mm。